實驗氣相沉積爐怎么安裝呢 實驗氣相沉積爐怎么安裝呢?今天和大家介紹下詳細的步驟?! ?.氣相沉積爐不需特殊安裝,只需平放在室內地面或臺架上??刂破鲬旁诠ぷ髋_上,工作臺面的傾斜度不得超過5度。控制器離電爐距離不得少于0.5米,控制器不宜放在電爐上面,以免影響控制器正常工作?! ?.與控制器及實驗電爐相連的電源線,開關及熔斷器的負載能力應稍大于實驗電爐的額定功率?! ?.接線時,先轉松控制器外殼左右兩側的螺釘,然后將罩殼上翻,按圖示接好電源線??刂破髋c電爐的連線及熱電偶連接線。將熱電偶從熱電偶固定座的小孔中插入爐膛,孔與熱電之間間隙用石棉繩堵塞,然后固定?! ?.檢查接線無誤后即可通電,先合上氣相沉積爐電源開關,然后將控制器面板上的鈕子開關拔向開的位置,調節(jié)設定按鈕,把溫度設定到您所需要的度數(shù)上,如果把設定開關拔向測量位置上,紅燈滅,亦有接觸器的吸合聲響,電爐通電,電流表指示加熱電流值,溫度隨爐內溫度升高而徐徐上升,說明工作正常。當溫度上升至設定的所需要溫度時,紅燈滅,綠燈亮,電爐自動斷電,停止升溫。稍后,當爐內溫度稍微下降,綠燈滅,紅燈亮,電爐又自動通電。周而復始,達到自動控制爐內溫度的目的?! ?.為了檢查斷偶保護裝置是否正常工作,其方法是:松開熱電偶一端,此時測溫指示迅速上升到高點亦自動切斷加熱電源,則斷偶裝置良好,重新接好的熱電偶后,可正常工作?! ?.烘爐,當電爐頭一次使用或長期停用后再次使用時,必須進行烘爐。其過程如下:當室溫升到200℃4小時,當200℃到600℃4小時,當600℃到800℃2小時(關閉爐門)。 7.使用氣相沉積爐完畢,先將控制面板上的鈕子開關拔向關的位置,然后切斷總電源開關。