真空速凝爐的抽真空度要達到多少　　真空速凝爐的抽真空度應(yīng)根據(jù)具體工藝和材料要求而定。以下是一些常見的真空度要求范圍：　　1.高真空區(qū)域（High Vacuum）：通常要求在10^-3至10^-6帕（Pa）的范圍內(nèi)。這種真空度適用于許多金屬合金的高溫處理、晶體生長以及其他對氣體污染敏感的工藝?！　?.超高真空區(qū)域（Ultra-High Vacuum,UHV）：通常要求在10^-6至10^-9帕的范圍內(nèi)。這種真空度適用于半導(dǎo)體器件制造、薄膜沉積、電子束物理沉積（EB-PVD）等高精度和高純度的工藝?！　⌒枰⒁獾氖?，實際的真空度目標(biāo)可能會受到設(shè)備本身的性能和限制、工藝需求以及操作條件的影響。因此，在選擇和操作真空速凝爐時，應(yīng)根據(jù)具體情況并參考相關(guān)的工藝要求，確定適當(dāng)?shù)某檎婵斩确秶?。同時，還需注意確保真空系統(tǒng)的密封性和維護，以保持所需的真空度水平。

　　真空速凝爐各組成部分及工作原理 　　真空速凝爐是利用真空感應(yīng)熔煉的方法，在真空或惰性氣體狀態(tài)下把合金原料熔煉并澆鑄在水冷輥上急速凝固后再在水冷盤上進行慢速降溫。把合金變成30°C左右且大小、薄厚均勻的合金薄片的一種電熱設(shè)備。速凝爐已成為制造合金薄片的生產(chǎn)專用熔煉設(shè)備在釹鐵硼磁材的生產(chǎn)中可有效地減少ɑ-Fe生成。 　　真空速凝爐爐體為立式爐殼其內(nèi)層為不銹鋼制成的園筒外層為碳鋼。兩層之間形成夾套，可以通冷卻水將傳到爐殼上的熱量帶走,以使?fàn)t壁溫度不超過60℃。中間開有保護氣氛通氣口。熱電偶測溫孔、抽氣孔及觀察孔。熱電偶有到溫自動退出裝置。紅外測溫觀察孔有玻璃氣吹防霧裝置,操作人員使用的觀察孔設(shè)有擋板。 　　爐蓋有內(nèi)外封頭和法蘭組成,中間水冷爐蓋吊在啟閉機構(gòu)上,板動啟動機構(gòu)上的手柄可以將真空速凝爐爐蓋升啟10-15mm,爐蓋上有壓頭、壓力傳感器、排氣隔膜閥及爐蓋鎖緊裝置。 　　爐底也是由內(nèi)外封頭和法蘭組成,中間水冷,固定在爐體底部,有電極引入,下壓頭進氣隔膜閥等組成,并裝可調(diào)節(jié)高度位移傳感器。 　　電爐真空系統(tǒng)采用配電磁放氣閥及油擴散泵。同時真空速凝爐還設(shè)有冷阱及機組，測量為復(fù)合真空計。