真空燒結(jié)爐是如何調(diào)整爐內(nèi)壓力的　　真空燒結(jié)爐是通過(guò)抽氣系統(tǒng)來(lái)調(diào)整爐內(nèi)壓力的。抽氣系統(tǒng)通常由機(jī)械泵、分子泵和根據(jù)需要的其他輔助泵等組成?！　≡谡婵諢Y(jié)爐的使用過(guò)程中，首先打開(kāi)機(jī)械泵，將爐腔內(nèi)的氣體抽出，然后啟動(dòng)分子泵，將氣體壓力進(jìn)一步降低。在需要調(diào)整壓力時(shí)，可以通過(guò)控制機(jī)械泵和分子泵的開(kāi)關(guān)來(lái)控制爐內(nèi)的壓力。當(dāng)需要增加壓力時(shí)，可以打開(kāi)輔助泵將一定量的氣體注入爐內(nèi)，從而增加爐內(nèi)的壓力?！　≡谡{(diào)整爐內(nèi)壓力時(shí)，需要根據(jù)材料的特性和燒結(jié)工藝的要求來(lái)選擇合適的壓力范圍。一般來(lái)說(shuō)，真空燒結(jié)爐中的壓力可以控制在10^-6至10^-3Pa之間，以滿足不同材料的燒結(jié)需求。

　　真空燒結(jié)爐結(jié)構(gòu)上要滿足哪些要求呢 　　真空燒結(jié)爐是指使粉末壓坯通過(guò)燒結(jié)獲得所需的物理、力學(xué)性能以及微觀結(jié)構(gòu)的專用設(shè)備。燒結(jié)爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機(jī)成分、完成鋁背場(chǎng)及柵線燒結(jié)。為了保證粉末壓坯在燒結(jié)過(guò)程中的脫蠟(潤(rùn)滑劑或成形劑)、還原、合金化、組織轉(zhuǎn)變等順利進(jìn)行，燒結(jié)時(shí)需要對(duì)燒結(jié)溫度、保護(hù)氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進(jìn)行精確的控制。 　　因此，真空燒結(jié)爐在結(jié)構(gòu)上應(yīng)滿足以下要求： 　　(1)具有完善的潤(rùn)滑劑燒除裝置(俗稱脫蠟帶)。 　　(2)具有氣密性，即能隔絕爐外空氣并保證爐內(nèi)保護(hù)氣氛暢通。 　　(3)爐內(nèi)的各段溫度可控，燒結(jié)氣氛可調(diào)。 　　(4)具有快速冷卻裝置，可將燒結(jié)零件快速冷卻到出爐溫度而不會(huì)氧化。 　　真空燒結(jié)爐使用的注意事項(xiàng) 　　(1)當(dāng)使用氫氣或分解氨時(shí)，要先通入氮?dú)?，在確保爐中的空氣完全被排出時(shí)，才能通電升溫，以防止打鳴和爆炸。 　　(2)對(duì)鉬絲作加熱元件的燒結(jié)爐，在通電前爐體中應(yīng)通入保護(hù)氣體，以防止鉬絲氧化而脆斷。 　　(3)真空燒結(jié)爐爐門及氣體排出口應(yīng)點(diǎn)明火燒除，以防止氧氣進(jìn)入或氫氣排出而發(fā)生爆炸危險(xiǎn)和煤氣中毒危險(xiǎn)。 　　(4)若電熱元件為鐵鉻鋁電阻絲，在升溫至1100℃時(shí)應(yīng)停留一段時(shí)間(30min左右)再升溫，以防止電阻絲表面溫度過(guò)高而損壞。 　　(5)在升溫前和操作中應(yīng)不時(shí)檢查氣流、水流是否符合要求，以及檢查設(shè)備、電和爐溫的控制儀表是否正常。 　　(6)停爐前應(yīng)先斷電，在爐溫降到200℃以下時(shí)再停氣和停水。 　　(7)除了因維修要停真空燒結(jié)爐爐外，要避免頻繁停爐。燒結(jié)爐的頻繁開(kāi)停，會(huì)造成加熱元件易于老化，耐火材料易于碎裂，爐內(nèi)氣氛不純，爐溫容易波動(dòng)等弊端。